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控制电子束高频偏转扫描的电磁系统仿真及设计 |
杨波,代建辉,左从进,许海鹰 |
中航工业北京航空制造工程研究所
高能束流加工技术重点实验室 |
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摘要 采用ANSYS 模拟软件对多极靴偏转线圈结构及其参数进行了仿真,结果表明:极靴越多,线圈中间的空间磁场越均匀。综合考虑线圈的磁场分布、加工难度、制作成本等因素,设计了以铁氧体为磁芯材料的十二极靴偏转线圈,并检测了该偏转线圈的高频响应特性,试验结果表明,所研制线圈可以在100kHz以上的高频工作。
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关键词 :
电子束,
偏转扫描,
电磁系统,
仿真
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基金资助:*科技重大专项(2010ZX04007-041)资助。 |
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