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| 控制电子束高频偏转扫描的电磁系统仿真及设计 |
| 杨波，代建辉，左从进，许海鹰 |
中航工业北京航空制造工程研究所
高能束流加工技术重点实验室 |
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摘要 采用ANSYS 模拟软件对多极靴偏转线圈结构及其参数进行了仿真，结果表明：极靴越多，线圈中间的空间磁场越均匀。综合考虑线圈的磁场分布、加工难度、制作成本等因素，设计了以铁氧体为磁芯材料的十二极靴偏转线圈，并检测了该偏转线圈的高频响应特性，试验结果表明，所研制线圈可以在100kHz以上的高频工作。
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| 关键词 ：
电子束,
偏转扫描,
电磁系统,
仿真
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| 基金资助:*科技重大专项（2010ZX04007-041）资助。 |
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2015, 
