基于激光干涉仪的数控机床定位精度检测与误差补偿方法#br#
王堃，孙程成，钱锋，王玮，郑巍
上海航天精密机械研究所
Position Accuracy Measuring and Error Compensation Method of NC Machine Tool Based on Laser Interferometer
摘要 针对RIFA80数控机床定位精度大幅度下降的问题，介绍了利用英国雷尼绍 (RENISHAW) ML10 激光干涉仪对该机床的定位精度和重复定位精度进行精度检测和误差补偿的方法，并对误差补偿前后的检测数据进行了分析。结果表明，通过精度检测和误差补偿，RIFA80 机床的各项精度指标已达到工作要求。
关键词 ：
激光干涉仪 ,
数控机床 ,
精度 ,
误差补偿
Abstract ：Aimed at the sharp decline of the position accuracy, the experiment method of using ML10 Laser interferometer to measure the machine accuracy of position is introduced. Furthermore through the analysis of the measure data, it is demonstrated that the error compensation is feasible.
Key words ：
Laser interferometer
NC machine tool
Accuracy
Error compensation
[1]
冯晓冰，杜正春，葛广言，肖域坤，朱梦瑞，杨建国. 基于在机测量的薄壁件加工综合误差建模与补偿
[2]
吕盾，张佳辉，王大伟，成群林，赵万华，卢秉恒. 国产数控机床动态精度技术现状与对策
[3]
林嘉睿，程东源，刘思仁，任永杰. 工业机器人绝对定位误差补偿方法
[4]
何鸿宇，杨长勇，苏浩，王志. 航空电液伺服系统阀套珩磨材料去除体积预测研究
[5]
吕学祜，郭前建，王昊天，王文华，朱帅伦，陈书童. 数控机床误差补偿关键技术综述
[6]
翟璐璐，刘海波，桓恒. 基于 DOE 设计的叶片电解加工工艺优化
[7]
项四通，吴铖洋. 灵敏度分析在数控机床精度优化中的应用研究现状
[8]
石颜龙，田春苗，阿勇嘎，季泽平，郭世杰. 混合蛙跳算法优化SVM的进给轴热误差预测研究
[9]
樊嘉，郑华林，何勇，米良，胡腾 . 机床关键几何误差元素辨识及其公差设计方法
[10]
季泽平，田春苗，郭世杰. 数控机床几何误差研究现状与展望
[11]
程思渺，田威，李波，廖文和. 一种优化相关性模型的机器人精度补偿方法
[12]
袁美霞，华明，陈欣祎，孟浩. 选区激光熔化工艺参数对钛合金Ti – 6Al – 4V成形质量的影响研究
[13]
肖贵坚，张友栋，黄云，吕冲，贺毅. 基于灰色关联法的航发叶片机器人砂带磨削精度控制技术
[14]
郑炜，杜坤鹏，陈航，林伟，王刚，张益铭，王战玺. 航空制造领域移动机器人加工系统研究综述
[15]
李东升，游佳琪，王明明. 蜂窝夹层结构高精度面板的三维铣削研究
2010, 
