等离子体辅助电子束物理气相沉积制备热防护涂层
彭 徽，郭洪波，宫声凯，徐惠彬
北京航空航天大学材料科学与工程学院，北京 100191
Thermal Protective Coatings Fabricated by Plasma Assisted Electron Beam-Physical Vapor Deposition
PENG Hui, GUO Hongbo, GONG Shengkai, XU Huibin
(School of Materials Science and Engineering, Beihang University, Beijing 100191,China)
摘要 电子束物理气相沉积（Electrom Beam-Physical Vapor Deposition，EB-PVD）是制备航空发动机热防护涂层的一种重要技术手段。采用等离子体辅助技术可进一步实现EB-PVD 涂层的结构改性和性能提升。对等离子体辅助EB-PVD 技术的研究现状进行了简要综述，并对等离子体辅助EB-PVD 制备航空发动机MCrAlY 抗氧化涂层、氮化物抗冲蚀涂层及YSZ 热障涂层研究进行了介绍。
关键词 ：
电子束物理气相沉积 ,
等离子体 ,
防护涂层 ,
抗氧化 ,
抗冲蚀 ,
热障涂层
Abstract ：Electron beam-physical vapor deposition (EB-PVD) is widely utilized for depositing thermal protective
Key words ：
Electron beam-physical vapor deposition
Plasma
Protective coating
Anti-oxidation
Anti-erosion
Thermal
作者简介 : 彭 徽
讲师，主要从事电子束物理气相沉积技术研究。近年来承担国家自然科学基金项目1 项，并参与多项973、863及预研课题。已发表论文20 余篇，授权国家发明专利6 项。
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