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航空制造技术  2022, Issue (23/24): 72-80     DOI: 10.16080/j.issn1671-833x.2022.23/24.072
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仿跳虫表皮柔性微结构阵列复型转移制备
张坤1,2,许晓慧1,2,李昕然1,2,郭泽琦3,吕湘连1,2,何洋1,2,苑伟政1,2
1. 西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室,西安 710072;
2. 西北工业大学陕西省微/纳米系统重点实验室,西安 710072;
3. 西安电子科技大学,西安 710126
Replication, Transfer and Fabrication of Flexible Microstructural Arrays Inspired From Springtail Cuticle
ZHANG Kun1, 2, XU Xiaohui1, 2, LI Xinran1, 2, GUO Zeqi3, LÜ Xianglian1, 2, HE Yang1, 2,YUAN Weizheng1, 2
1. Key Lab of Micro/Nano Systems for Aerospace, Ministry of Education, Northwestern Polytechnical University, Xi’an 710072, China;
2. Shaanxi Key Lab of MEMS/NEMS, Northwestern Polytechnical University, Xi’an 710072, China;
3. Xidian University, Xi’an 710126, China
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