微细超声加工研究现状
（南京航空航天大学机电学院，南京 210016）
Current Research on Micro Ultrasonic Machining
(College of Mechanical and Engineering, Nanjing University of Aeronautics and Astronautics, Nanjing 210016, China)
摘要 微细超声加工技术适用于半导体、光学玻璃、工程陶瓷等各种高强度、耐高温、耐磨损硬脆材料元器件的精密微细制造。本文针对其材料去除机制、加工方法以及使能技术的国内外研究和应用现状，进行了系统介绍，并对该技术的发展趋势进行了展望。
关键词 ：
微细 ,
超声加工 ,
复合加工
Abstract ：Mirco ultrasonic machining is an unique non-traditional manufacturing process because it can produce micro/precision components and parts made of high temperature-resistant, wear-resistant, hard and brittle materials, for instance, semiconductors, optical glass and engineering ceramics. This review mainly focuses on the current research work related to material removal mechanism, processing techniques and enabling technologies in China and abroad, and the trend of this technology as well.
Key words ：
Micro
Ultrasonic machining
Compound machining
作者简介 : 缪兴华
博士，副教授，主要研究方向为精
密特种加工、微细微纳制造及自动化等。
在国内外学术期刊发表论文10 余篇。
[1]
张向辉，许金凯，于占江，程亚亚，于化东. 微小刀具同轴全息对刀方法研究
[2]
王旭初，白清顺，王鹏，程凯，赵亮. 微细铣削的数字孪生建模技术研究进展
[3]
刘壮，邱一，郭超，高长水. 磨料电化学射流加工SiCp/Al 复合材料仿真和试验
[4]
任连生，杨立光,郭妍,伏金娟 . 慢波结构微细内槽电火花加工用工具电极的制作方法及应用
[5]
纪贤达，连勇，刘畅，张津 . 电火花沉积技术研究进展及其在航空制造中的应用
[6]
范沛，冯平法，张建富，蔡万宠，马原. GMM旋转超声加工系统的部分耦合式非接触电能传输设计与补偿
[7]
张从阳，邹日貌，余祖元. 超声辅助等离子体中微细电火花加工技术研究
[8]
徐正扬，张辰翔. 基于电火花-电解复合加工方法的微小孔制造*
[9]
王健健1, 2，张建富1，冯平法1, 3. 航空先进材料旋转超声椭圆振动加工研究进展
[10]
赵波1，别文博1，王晓博1，陈凡2，赵重阳1. 基于局部共振理论的超声加工技术研究进展
[11]
李东坪1, 曾志杰1, 杨晓龙1, 余祖元1, 范 恽2, 李剑中1. 基于微细电火花加工的微冲裁技术研究*
[12]
朱应宝，余祖元，李剑中，郭学杰，殷国强. 电极摇动对微细电火花加工微孔深径比的影响*
[13]
梁志强，方亚楠，周天丰，高 鹏，张素燕，刘志兵，王西彬. 微小整体叶轮五轴联动微细铣削加工试验研究*
[14]
刘晓萌，白基成. 微细电火花加工放电状态特性及其识别方法*
[15]
刘战强, 杨 东1, 王 兵. 高效切削与高完整性加工技术*
2017, 
