动态性能结构紧凑的XY直线电机运动平台

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摘要 Aerotech现已推出一款新型 X-Y直线电机平台。该公司报道称，此款平台具有业界领先的动态性能且结构紧凑，适用于直线度和平面度均至关重要的应用。Planar DL系列包括九种不同的行程和性能配置以支持范围宽广的应用，例如，半导体和LED晶圆的表面轮廓和高速划线。其应用包括：半导体制造、电子设备制造（LEDs）、测试与检测、激光加工、金属检测、微细加工、纳米技术、医疗、试验室。

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关键词 ： Aerotech

引用本文:

Aerotech. 动态性能结构紧凑的XY直线电机运动平台[J]. 航空制造技术, 2013, 56(20): 137-137.

链接本文:

http://www.amte.net.cn/CN/ 或 http://www.amte.net.cn/CN/Y2013/V56/I20/137