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| 高精密和超精密机床 |
| 张曙1，卫汉华2，谭惠民2，黄仲明2 |
1.同济大学现代制造技术研究所
2.香港理工大学工业中心 |
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摘要 随着航空航天、精密仪器、光学和激光技术的迅速发展，以及人造卫星姿态控制和遥测器件、光刻和硅片加工设备等各种高精度平面、曲面和复杂形状零件的加工需求日益迫切，超精密加工的应用范围日益扩大。它的特点是可以直接加工出具有纳米级表面光洁度和亚微米级形面精度的表面，借以实现各种优化的、高成像质量的光学系统，并促使光学电子设备的小型化、阵列化和集成化。
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| 关键词 ：
高精密,
超精密,
机床
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| 作者简介: 1956年毕业于哈尔滨工业大学。现任同济大学教授、博士生导师、现代制造技术研究所名誉所长、哈尔滨工业大学管理学院兼职教授、如皋市人民政府顾问、张曙科教基金董事长，中国机械工程学会高级会员、中国机械工程学会荣誉理事。曾任香港理工大学客座教授、上海理工大学机械学院名誉院长、盐城工学院特聘教授等职务。 |
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2012, 
