基于激光干涉仪的数控机床定位精度检测与误差补偿方法#br#
王堃，孙程成，钱锋，王玮，郑巍
上海航天精密机械研究所
Position Accuracy Measuring and Error Compensation Method of NC Machine Tool Based on Laser Interferometer
摘要 针对RIFA80数控机床定位精度大幅度下降的问题，介绍了利用英国雷尼绍 (RENISHAW) ML10 激光干涉仪对该机床的定位精度和重复定位精度进行精度检测和误差补偿的方法，并对误差补偿前后的检测数据进行了分析。结果表明，通过精度检测和误差补偿，RIFA80 机床的各项精度指标已达到工作要求。
关键词 ：
激光干涉仪 ,
数控机床 ,
精度 ,
误差补偿
Abstract ：Aimed at the sharp decline of the position accuracy, the experiment method of using ML10 Laser interferometer to measure the machine accuracy of position is introduced. Furthermore through the analysis of the measure data, it is demonstrated that the error compensation is feasible.
Key words ：
Laser interferometer
NC machine tool
Accuracy
Error compensation
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2010, 
