%A 张红玉,许海鹰,路开通,左从进 %T 基于背散射电子的电子束加工过程在线观测系统研制 %0 Journal Article %D 2021 %J 航空制造技术 %R 10.16080/j.issn1671-833x.2021.03.070 %P 70-75 %V 64 %N 3 %U {http://www.amte.net.cn/CN/abstract/article_4324.shtml} %8 2021-02-01 %X 为了在高真空、高温、高金属蒸气的电子束加工过程中获得清晰的观测效果,采用四极板背散射电子接收传感器、高频信号放大电路、高频数据采集卡、高频偏转扫描系统等,研制了一套基于背散射电子的在线观测系统。通过试验验证,所研制系统可以有效观测 100mm×100mm 范围内的工件,图像分辨率为 512 像素×512 像素,图像处理帧数可以达到 6 帧 /s。